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冠亞恒溫半導體溫控Chiller助力半導體材料產業穩定生產

 更新時間:2025-05-30 點擊量:399

  在半導體制造領域,溫度控制的精度和穩定性對芯片性能以及生產良率有著直接影響。然而,傳統溫控設備存在能耗較高、精度相對不足以及穩定性欠佳等問題,這些問題已然成為制約半導體材料有效生產的關鍵因素。

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  一、半導體行業行業挑戰

  一方面,控溫精度不足,在低溫工況下易出現溫度回升現象,可能導致光刻膠形變或研磨液性能波動,進而影響工藝一致性;

  另一方面,效率低下,能耗較高,且由于控溫精度不足,可能導致原料浪費與生產成本增加。這些問題已然成為制約半導體材料有效生產的關鍵因素。

  冠亞恒溫聚焦半導體行業的控溫需求,憑借其高精度的溫控解決方案以及創新技術優勢,幫助企業達成更有效、更穩定的生產目標。

  二、半導體行業控溫解決方案

  半導體溫控設備Chiller適用于集成電路、半導體顯示等行業,溫控設備可在工藝制程中準確控制反應腔室溫度,是一種用于半導體制造過程中對設備或工藝進行冷卻的裝置,其工作原理是利用制冷循環和熱交換原理,通過控制循環液的溫度、流量和壓力,帶走半導體工藝設備產生的熱量,從而實現準確的溫度控制,確保半導體制造過程的穩定性和產品質量。

  三、半導體溫控Chiller核心產品

  FLTZ變頻單通道Chiller

  ?介紹應用:應?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等

  ?溫度范圍:-100℃~+90℃控溫精度±0.05℃

  ?技術亮點:變頻泵可調整循環液壓?、流量;智能變頻節能控制,降低使用能耗;?持?標定制,?持PC遠程控制

  FLTZ系列雙通道Chiller

  ?介紹應用:應?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等

  ?控溫范圍:-45℃~+90℃,控溫精度:±0.1℃

  ?技術亮點:系統支持雙通道獨立控制溫度、流量壓力;采用變頻控溫技術,可根據客戶需求定制產品

  FLTZ變頻三通道Chiller

  ?介紹應用:應?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺等

  ?控溫范圍:-20℃+100℃,控溫精度:±0.1℃

  ?技術亮點:三通道整合,支持每個通道獨立控溫范圍、導熱介質流量;深化性能開發,匹配刻蝕工藝需求

  面板Chiller

  ?介紹應用:應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等

  ?控溫范圍:+15~+30℃,控溫精度±0.05℃

  ?技術亮點:高揚程設計?持?流量?負載,確保嚴苛?況下持續穩定運?;智能變頻節能控制,減少?效能耗;符合三通道?藝設計要求,確保信號/流體的獨?傳輸與準確控制

  ETCU換熱控溫單元

  ?介紹應用:應用于PVD、CVD、PECVD、ALD?藝等

  ?冷卻?溫度范圍:+5℃~+90℃,控溫精度±0.05℃

  ?技術亮點:系統?壓縮機,通過換熱降溫;?持?標定制,?持PC遠程控制

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  四、為什么選擇冠亞恒溫?

  1、深耕半導體領域:服務半導體后道生產流程工藝中,覆蓋半導體FAB工藝過程控溫、半導體封測工藝過程控溫。

2、定制化服務能力:依托模塊化平臺,提供標準化與個性化結合的解決方案。

  五、冠亞恒溫半導體溫控Chiller溫控系統技術優勢

  1、變頻技術與節能:采用變頻技術,結合精心設計的系統結構和自主開發的控制算法,能夠準確調節壓縮機的輸出頻率。在滿足制程需求的前提下,降低能耗,為企業節省運營成本。

  2、全密閉式系統:采用全密閉設計,有效杜絕油霧和異味產生,延長導熱液體的使用壽命。

  3、快速加熱與制冷:參與循環的導熱液體量少,使得加熱和制冷速度大幅提升。響應速度快,能夠及時適應工藝過程中的溫度調整需求。

  4、模塊化設計:系統結構緊湊,占地面積小,安裝和移動都十分便捷。這種設計使得設備能夠靈活適應不同的生產場地和工藝布局,為企業節省空間和安裝成本。

  5、智能監控與診斷:可同時監控、設定和控制流量、泵壓、溫度等參數,實時顯示運行狀態。設備具備故障自動診斷功能,并擁有多項報警保護功能,能夠提前預警潛在問題,保障生產的連續性和穩定性。

  6、控制重復性與穩定性:基于動態控制系統,確保每次控制結果的一致性,有效提升生產穩定性。

  7、自適應PID控制:采用自適應PID算法,能夠自動適應不同的環境和負載條件,無需人工調整參數,這大大降低了操作難度和維護成本,提高了設備的智能化水平。

溫度控制是半導體制造過程中一項重要的工藝環節。冠亞恒溫半導體溫控Chiller憑借技術創新作為發展動力,通過提供準確、穩定且有效的溫控系統,協助企業優化生產流程,降低資源消耗,推動企業實現高質量的制造生產。


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